晶圓尺寸：4~12寸 25pcs*1 or 2 cassette

槽體：3酸/3水 or 4酸/4水 （可客制） 

化學(xué)循環(huán)/加熱控制/濃度控制/流量控制

酸/堿/有機(jī)..排風(fēng)及排放分開排 

化學(xué)藥液：CCSS or LCSS 供應(yīng) /自動(dòng)混酸系統(tǒng)

可選回收或排放

配置：CO2滅火裝置/去靜電產(chǎn)生器/攝像頭

軟件控制：PC+PLC+GUI控制,可支持SECS GEM/EAP/FDS